TLRH系列精密型基础测试探针台是我司凭据高?蒲屑安笛蟹⒈匾,而特定设计的一款高精密高不变探针台,其较高的位移调节精度及优异的漏电精度节造,已成为蕴含场效应管在内的多端器件IV测试的梦想之选。
探针台又称探针测试台,重要用处是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,共同丈量仪器可实现集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压个性曲线等参数检测。合用于对资料、芯片等进行科研尝试分析,抽查测试蹬酌途。
TLRH系列精密型基础测试探针台是我司凭据高?蒲屑安笛蟹⒈匾,而特定设计的一款高精密高不变探针台,其较高的位移调节精度及优异的漏电精度节造,已成为蕴含场效应管在内的多端器件IV测试的梦想之选。
● ?榛杓,能够搭配分歧构件实现分歧测试;
● 最大可用于12英寸以内样品测试;
● 探针台整体位移精度高达3μm,样品台精密四维调节;
● 兼容多种光学显微镜,可表引光路实现光电mapping测试;
● 满足1μm以上电极/PAD使用;
● 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
● 探针座选取进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;
● 加宽探针搁置架,可搁置6个DC探针座/4个RF探针座;
● 配显微镜二维精密调节职能,且可选配多种行程及驱动方式。

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台推算机(尺度VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表(含软件)等。
测试时衔接探针台和数字源表,探针接被测物体,通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表表,待衔接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V机能曲线。
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