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精密型光电测试探针台

TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激鲜明微镜而来，实现高分辨率成像的同时两全表引激光光路，实现光电流与IV的双职能检测，是光电芯片/器件测试的梦想之选 。

产品介绍

        探针台又称探针测试台，重要用处是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，共同丈量仪器可实现集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压个性曲线等参数检测 。合用于对资料、芯片等进行科研尝试分析，抽查测试蹬酌途 。

        TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激鲜明微镜而来，实现高分辨率成像的同时两全表引激光光路，实现光电流与IV的双职能检测，是光电芯片/器件测试的梦想之选 。

技术优势：

  • ●  ？榛杓，能够搭配分歧构件实现分歧测试 ；

  • ● 最大可用于12英寸以内样品测试 ；

  • ● 探针台整体位移精度高达3μm，样品台精密四维调节 ；

  • ● 激鲜明微镜，5档物镜转盘，可引入激光实现光电流测试 ；

  • ● 满足1μm以上电极/PAD使用 ；

  • ● 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内） ；

  • ● 探针座选取进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计 ；

  • ● 加宽探针搁置架，可搁置6个DC探针座/4个RF探针座 ；

  • ● 配显微镜二维精密调节职能，且可选配多种行程及驱动方式 。

细节展示：

精密型光电流探针台 ？榻樯.jpg

具体 ？榕渲眉安问⒚鳎

名称型号单元数量参数
探针台台体PBL套1
  • 底部蜂窝隔振面包板，尺寸450mm*600mm*50mm，带橡胶隔振地脚，有效断绝Z轴微振 ；
  • 四维调节样品架，XY轴行程110mm，Z轴行程10mm，整体分辨率3μm，360°粗调，±5°精调 ；
  • 双方龙门架结构，尺寸：300mm*150mm*190mm 。
探针座TPLS-UP套2
  • 三维调节，整体调节精度3μm（可选配0.5μm，1μm）;
  • 丈量领域：10pA/100fA(屏蔽箱环境)-10A ；
  • 行程：XYZ行程别离13mm ；

  • 固定方式：可调磁吸吸附 ；

  • 探针夹持角度：偏摆60° ；

  • 配置线缆：同轴线缆（漏电精度10pA）/三同轴线缆（漏电精度100fA） 。
显微成像 ？ST61套1
  • 高分辨激光成像显微镜，可表引激光，配置5X、10X、20X、50X物镜（可 。，五档位物镜转盘 ；


  • 图像传感器：2000万像素，支持电脑节造，拍照录像，HDMI输出 ；
  • 目镜：选取高眼点超广角目镜，视场Φ23mm ；
  • 照明光源：白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗3W LED，色温5500K，照明均匀 ；LED照明节造器90V-250V宽电压3W LED节造器，可调光 ；
  • 集成 XY 位移台以及精密起落台，行程 25mmx25mmx50.8mm 起落，精度 3μm ；


真空吸附卡盘PVS-04套1
  • 台面尺寸：4/6/8/12英寸可选，不锈钢材质 ；
  • 4英寸3个吸附孔，6/8英寸4个吸附孔，12英寸5个吸附孔 ；

  • 标配进口无油真空泵，吐出空气量7L/min,持久不变运行 ；

  • 搭配聚四氟材质旋转可锁紧装置，分离锁紧，360°旋转 ；

  • 背电极设计：可引出背电极 ；

  • 吸附孔圆槽设计，加强吸附能力 ；

  • 单独吸附孔路，独立真空吸附开关 ；

  • 真空吸附套装附件 。

探针PTR-03盒1
  • 钨钢探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流领域，1fA-1A，针尖直径可 。1/3/5/10/30/50/150/300/500μm） ；
  • 钨钢镀金探针：长38mm，直径0.5mm，可测电流领域，1fA-1A，针尖直径可 。1/3/5/10/30/50/150/300/500μm） ；
  • 镀金软针：长51mm，可测电流领域，1fA-1A，针尖直径可 。5/10/30/50/125μm) 。

通例选型

产品型号样品台尺寸样品台位移精度探针座位移精度漏电流精度探针座数量
TLPH-044英寸3μm3μm100fA3个
TLPH-066英寸3μm3μm100fA3个
TLPH-088英寸3μm3μm100fA3个
TLPH-1212英寸3μm3μm100fA3个

尝试附件及通例测试步骤：

光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台推算机(尺度VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表（含软件）等 。

测试时衔接探针台和数字源表，探针接被测物体，通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表表，待衔接导通后打开源表软件，选好参数即可出该触点的I-V机能曲线 。

利用领域：

半导体资料测试   功率器件测试   MEMS测试   PCB测试   液晶面板测试   丈量表表电阻率   精密仪器出产检测   航空航天尝试

bifa必发集团光电可凭据客户现实利用需要，定造配套探针台系统，以达更好的测试成效及更高的性价比，具体信息可联系详询 。

还可点击 bifa必发集团商城：精密型光电测试探针台，查看更多产品信息

标签： 探针台

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