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高精密全电动波导耦合平台

PWS-HE系列高精密全电动波导耦合平台选取两侧六轴电动调节规划 ,智能化软件操作 ,耦合效能优异 ,合用产线批量化耦合必要;职能?榕渲每善揪萦没质当匾≡ ,是产业工艺首;另表可选配点胶固化等装置 ,满足产线全链条耦合封装利用。

产品介绍

精密对准耦合系统重要用于为半导体芯片、硅波导器件等提供光电耦合封装平台;如光纤(单纤、FA光纤阵列)、硅光芯片、平面波导型光分路器(PLC)、阵列波导光栅(AWG)、波分复用(WDM)、准直器等无源器件的光电耦合封装;宽泛利用于前沿科延注产业工艺蹬爪用领域。系统重要蕴含精密调节部件、器件夹具部件、芯片台(可增长温控)、多维显微观察?椤⒐庠础⒐庋教ā⒐夤β始啤⑻秸胱⒌憬汗袒。设备职能全面、操作轻便 ,可凭据客户现实利用需要提供定造化解决规划。

PWS-HE系列高精密全电动波导耦合平台选取两侧六轴电动调节规划 ,智能化软件操作 ,耦合效能优异 ,合用产线批量化耦合必要;职能?榕渲每善揪萦没质当匾≡ ,是产业工艺首;另表可选配点胶固化等装置 ,满足产线全链条耦合封装利用。

主题?椋

  • 六维精密调节台、六轴电动调节、软件操控

  • 定造化夹具(光纤、波导芯片等)

  • 三维可调芯片台(可加温控)

  • 多维显微观察系统

  • 探针座、光学平台、光源、光功率、点胶机、UV机等

技术优势:

  • ?榛杓 ,凭据利用需要搭配相宜配置

  • 选取进口六维调节台 ,纳米级位移精度

  • 操作单一 ,职能全面 ,所有工序可在统一平台实现

  • 利用面广 ,具备硅光波导、PLC、AWG、WDM等耦合需要

  • 可凭据客户利用提供定造化解决规划

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名称型号单元数量参数
六维精密电动调节台MA-E2000系列2

台面尺寸125x125mm ,粗调行程50mm ,最幼位移达10nm ,带50nm光栅尺反馈 ,最大速度20mm/s ,沉复定位精度±0.01μm

θX行程±6° ,精度~0.0025°

θY行程±8° ,精度~0.003°

θZ行程±8° ,精度~0.0032°

六轴节造器TPL261六轴活动节造器
六轴伺服活动节造器
操控软件SDK-011马达电动轴件节造整合活动软件 ,含耦合? ,粗扫光 ,登山和精密登山三种模式 ,能够设置步进 ,点动 ,可能实现自动光对准 ,含光功率和光电流两种软件(电流耦合必要客户自备源表) ,含垂直和水平耦合两种方式
定造夹具ALF-D1光纤(单纤/FA光纤阵列 ,水平/垂直)
波导芯片:真空吸附/机械支持/TEC温控
芯片三维调节台FDM301前后13mm行程 ,Z轴6mm行程 ,360度转台
显微观察LMU-FL2/3

光学放大倍数0.7-4.5X ,最大电子放大倍数达270X ,1:7变焦 ,四维调节 ,行程40mm ,不锈钢立柱固定 ,工作距离86mm ,200万彩色数字相机 ,成像软件带丈量、拍照、录像、画图等 ,高清显示器 ,镜头可实现0-90°旋转(镜头可凭据客户需要选择)

垂直FA利用配置三套显微镜组(增长一套水平观察)

光学平台PLGZT1配置我司PLGZT系列高精密阻尼隔振光学平台 ,尺寸可选
可选配我司尺度光学仪器架 ,暗室遮光帘
探针座TPLS-UN2/4直流探针座:带探针固定夹具 ,磁力吸附底座 ,三轴调节行程13mm ,精度1μm ,香蕉头线缆(公头)
射频探针座:带探针固定夹具 ,磁力吸附底座 ,三轴调节行程13mm ,精度1μm ,弯摆台 ,调节针头跟pad平行
其他(可选配)---光源、光功率计、UV机、点胶机等


软件界面:

光器件耦合系统↓

光器件耦合系统截图.jpg

位移系统↓

位移系统界面.png

耦合反。ü夤β始疲

光功率计安稳性观察.png


耦合操作流程

以PLC粘合为例:调整光纤(单纤/FA阵列)和CHIP(驻光芯片)之间相对地位 ,使IL最。ㄍü怨庹页鲎钣字担 ,上胶固化使两者之间固定。

  1. 装置初始:光纤阵列与平面波导支架配工台装置芯片起头。一旦CHIP和光纤阵列FA被装好 ,使用显微系统将各组件调整到各自地位 ,检测进而预备粘合工艺。必要与平面波导做特定的平行定位。使用垂直和平行干相机 ,所有地位仅用一次调整 ,确保实显旖行定位的设置。复合的精度维持保障在以来的装配中维吃熹工作关系;

  2. 调整校对:通过X轴、Y轴和Z方向的误差来进行初始光场的调整 ,操作视频显微成像(水平投影+沉直影)显示出各项误差 ,而后手动调整来赔偿误差。当三个器件实现初始定位 ,同时确认其在Z轴方向的相对地位关系后 ,这时必要确认输入光纤阵列和波导器件之间的粘合对准 ,将物镜聚焦到波导器件的输出端面。通过物镜及初始光CCD ,能够将波导输出端耦合通路的近场像投射出来 ,进行适倒爻合后 ,图像会被投射到显露器上;

  3. 视觉辅助:这些自动视觉辅助职能将助力粘合的步骤是粘合工艺的一部门。在此工艺过程中 ,输入及输出光纤阵列和波导输入及输出端面的距离约莫是100-200um ,以便测试使用机械人视觉或紫表线检测波长找到缺点的则的量 ,为后面的必要的粘合器件留出安全的空间。大体上来说 ,旋转粘合会通过使用传感信息调整角度及形成粘合的角度步骤 ,将输入光纤阵列和波导阵列的每一个及层面粘合使用设备测试确认职能 ,输入及输出耦合通路的所有职能是否正常在这方面展示。通过对光纤接触面进行适配尺寸的地位建改。待确认各项最终光纤视程数值齐全成型后 ,就可进行自适应的5-10um ,进行后续调合D芄煌ü档髡 ,每次提高10um;

  4. 校验测试:在此过程中 ,能够用输出波导对齐到第一输入通路 ,延X轴的方向对波导各器通路进行扫描 ,以丈量其各通路的光功率。在各个器件实现光粘合效能优化 ,并对输入及输出光纤阵列执行定位后 ,就能够使用自动光系统将各个器件进行校对接;

  5. 照射UV固化;

  6. 下料测试:放松平支具 ,取下物料 ,交测试组测试。

利用领域:

 宽泛利用于科学钻研及工业产线等主题领域。覆盖  硅光波导耦合光纤(单纤/FA光纤阵列)AWGWDMPLC准直器等有关光路耦合。

bifa必发集团光电可凭据客户现实利用需要 ,提供定造化光耦合系统规划 ,具体信息可联系详询。

还可点击 bifa必发集团商城:光纤波导耦合系统 ,查看更多产品信息

标签: 波导耦合

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